1840 年，臭氧被发现，且因其独特气味而命名。
1906 年，法国尼斯市是设立全球第一座臭氧净水厂。
1937 年，美国出现第一座使用臭氧处理的商业游泳池。
1940 年，美国印第安纳州首度使用臭氧净水处理。
1975 年，全美超过 1000 臭氧除臭装置被安装在污水处理场。
1982 年，瓶装水开始使用臭氧杀菌。
1984 年，所有奥运的竞赛泳池全部以臭氧处理。
1989 年，美国环保署颁布地表水处理法规(The Surface Water Treatment Rules) 纳入臭氧杀菌CT值规范。
2000 年，全美约有300座自来水厂使用臭氧辅助处理水质。
2001 年，美国FDA正式核准臭氧可以和食品接触，作为微生物抑制剂。

    我国臭氧技术起步较晚，上世纪 70 年代中期，国内开始进行臭氧技术的研究开发; 90  年代，随着矿泉水、纯净水臭氧消毒技术的推广应用，医药行业采用臭氧进行空气杀菌处理，以及小型家用臭氧发生器的应用，促进了我国臭氧行业的发展。

    2000年后，我国工业用大型臭氧设备制造技术的研究取得大量成果，在臭氧放电管、熔断器、中高频电源等大型臭氧发生器制造的关键技术取得重大突破，相继研制成功的 3-120kg/h 等大型中频臭氧发生器，将中国臭氧技术逐步提升到国际先进水平。

    2010 年，《水处理用臭氧发生器 CJ/T322-2010》的实施，使我国臭氧发生器标准与国际先进标准接轨，对我国臭氧行业整体技术水平的提升和市场的规范起到重要作用。经过多年的发展，我国的臭氧系统设备制造技术水平和市场规模有了很大提高，并在市政给水、市政污水、工业废水、烟气脱硝、精细化工、泳池消毒、空间消毒、饮料食品等行业得到广泛应用。